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  1. PECVD

    PECVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜Z大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将设备置于移动柜上以节约空间。

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